基于玻璃的流量传感器研究_玻璃衬底_

基于玻璃的流量传感器研究

2011/6/23 8:48:00

热式微型流量传感器是利用外热源对传感器加热电阻进行加热,气体流动时会改变加热电阻及其周围温度分布,通过测量加热电阻或者加热电阻上下游的温度变化量来反映气体的质量流量[ 1- 5 ]。热式微型流量传感器分为热线损失型、热膜温差型和热脉冲型。由于热线损失型气体流量传感器存在一致性差,难以进行批量生产; 低流速时热紊乱大,热线抗污染腐蚀能力差;测量中有电子噪声,导致它的响应速度下降等因素限制了它的进一步发展[ 6 - 7].